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六氟乙烷
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六氟乙烷产品参数
| 参数 | 描述 |
|---|---|
| 产品名称 | 六氟乙烷 |
| 纯度 | 99.999% |
| 分子式 | C2F6 |
| CAS号 | 76-16-4 |
| 应用领域 | 半导体制造、制冷领域、绝缘与冷却等 |
应用领域
- 半导体制造：
- 等离子蚀刻：用于硅、氮化硅、磷硅玻璃等材料的精密蚀刻。
- 表面清洗：去除制造过程中产生的微小颗粒和污染物。
- 化学气相沉积（CVD）后清洗：清洁反应室，提高设备效率。
- 制冷领域：
- 作为超低温制冷剂（R116），用于科研、医疗（如手术低温环境）。
- 绝缘与冷却：
- 用作高介电强度冷却剂及绝缘气体。
安全注意事项
- 使用前确保钢瓶阀门关闭，避免意外泄漏。
- 存储时应远离易燃易爆物品，保持通风良好。
- 操作时佩戴合适的个人防护装备，如防护眼镜、手套等。
- 如发生泄漏，应立即关闭气源，并开启通风设备，切勿接触明火。
- 定期检查钢瓶及连接管道，确保无泄漏及损坏。
我们致力于为客户提供高品质的六氟乙烷，如有任何疑问或需求，请随时联系我们的客户服务团队400-6277-838
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